第578章烧钱
中关村科技大楼,五楼顶层。
这里不对外开放,作为由陈春仙主持的、华夏硅谷公司的自主研发项目――光刻机的设计研发基地。
活了两辈子,时至今日,在此地,李建昆终于在现实中接触到光刻机。
对于光刻机的了解,不再停留在键盘侠的层次。
位于廊道尽头的一间实验室,有一扇硕大的对开式铁皮门,实验室里没有任何窗户,铁皮门关起来的话,处于全封闭状态。
在房间右侧靠墙的位置,静静“躺”着一台机械、电子和光学等,多种科学凝聚而成的智慧结晶。
它的体积比李建昆想象中要小一些,精密程度也不如记忆中的某些图片上复杂,大概率是由于功能还不够强大的缘故。
这是一台由清华9003所自主研发的,第二代接近式光刻机。
整体像只柜子,矩形规格,大小等于两只对开门的衣柜拼凑在一起。
李建昆绕着圈圈,饶有兴致打量时,陈春仙像是给他做介绍,又像是在做某种铺垫,朗声道:
“二代光刻机和一代,最大的区别在于,一代使用的是436nm的g-line光源,二代使用则是365nm的i-line光源。”
他居然以为李建昆能听懂……
可见早前凭借键盘侠技术,李建昆在他心中竖立起何等专业的形象。
“不过一代和二代本质上其实差不多,都属于接触接近式光刻机,各自缺点明显,一代光刻机由于掩膜和光刻胶直接接触,易受污染;二代改良过后,却又出现新的问题,受气垫影响,成像精度还是不如人意。”
李建昆装模作样问:“所以呢?”
“要颠覆。”
陈春仙指了指清华圆的方向,“我跟那边详细讨论过,也通过国外行业能搜集到的皮毛资料,做过深入研究。下一代光刻机,需要摒弃掉‘接触接近’的方式,技术出路一定在光学投影这一块。”
对喽!
李建昆眼神大亮,作为资深键盘侠,你跟他说具体怎么造一台光刻机,其中涉及哪些细微技术,他是真不懂。但大的技术特点,他还是有所了解的。
第三代光刻机的称谓,正是叫作“扫描投影式光刻机”。
“有研发思路吗?”
没有我给你提供点……李建昆心想。打算先听听老陈怎么说。
陈春仙进入科研状态,像是在与一个同层次的科学家,进行深刻探讨,很认真地说道:“抛弃接触接近的方式,那么只能采取隔空曝光的形式,首先要利用光学透镜聚集衍生光,提高成像质量,其次使用扫描技术实现曝光。”
();() 好家伙!
思路完全正确!
怕不是从9003所偷师的吧?
否则仅仅研究一年,能有这么精准的思路?
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